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上海张江企业自主研发我国首台半导体清洗设备
中国网滨海高新:www.022china.com  时间: 2010-07-06 17:00:04 
   中国网·滨海高新讯 近日,上海张江高新区企业盛美半导体设备(上海)有限公司自主研发的12英寸45纳米单片清洗设备冲出国门,销往韩国知名存储器厂商,成功敲开了国际市场的大门,这也是我国首台具有自主知识产权的“零损伤”兆声波半导体清洗设备,填补了国内技术的空白。

  盛美半导体创始人、首席执行官王晖表示,盛美的技术是国内首创、全球独有,因此才赢得韩国企业的亲睐。据悉,韩国厂商利用该项技术后,可以在生产过程中通过降低产品不良率提高产出率,一年可节省上千万美元的生产费用。据悉,今年全球半导体晶圆清洗设备的市场规模预计将达20亿美元,单片、批式两种清洗设备分别占10亿美元,盛美半导体研制的最新清洗设备将抢占更多的市场份额。

 
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文章来源: 中国高新技术产业导报 责任编辑: 小兮
 
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