据了解,2013 年,天津市津南区与清华大学共同成立华海清科,以集成电路产业需求为导向,着力在关键领域、卡脖子的地方下大功夫,经过8年多的科技创新和拼搏发展,产品性能达到了国际先进水平,已经成为国内唯一能够实现 12 英寸 CMP 设备量产的高端半导体装备供应商,实现了国内市场CMP设备领域的国产替代,其CMP设备出货到国内外集成电路大生产线已过百台。本次新厂区启用将进一步扩大高端半导体装备,特别是高端CMP设备和减薄抛光一体机的生产能力,进一步提高在化学机械抛光相关领域的研发和服务能力,为津南区创建“双碳”工作先行示范区和绿色高质量发展注入新动能。
日前,华海清科举行新厂区启用仪式,新厂区总建筑面积5.3万平方米,涵盖生产厂房、测试车间及相关配套设施,具有年生产半导体装备100台以上、晶圆再生年产120万片的能力。